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自偏压对低气压射频氩气辉光放电影响的数值模拟
论文摘要辉光放电等离子体技术工艺成本不高,并且与现阶段所提倡的环保理念相吻合。凭借着该技术所呈现出来的优点,它在许多工业领域内被广泛采用。例如在微电子领域中的半导体制作与加工、...