二氧化硅薄膜论文

二氯二氢硅综合应用研究进展
论文摘要详述了二氯二氢硅与四氯化硅进行反歧化反应制备三氯氢硅技术的研究进展,简述了二氯二氢硅在制备多晶硅、硅烷气、多晶硅薄膜、氮化硅薄膜和二氧化硅薄膜中的应用。论文目录1二氯二...