二氯二氢硅论文

多晶硅副产物反歧化法合成三氯氢硅的研究进展
论文摘要随着环境污染和能源短缺问题的加剧,各国纷纷开始新型能源的开发,多晶硅的市场需求量也随之增加,而四氯化硅和二氯二氢硅等副产物的聚集制约着多晶硅行业的发展。四氯化硅反歧化工...
二氯二氢硅综合应用研究进展
论文摘要详述了二氯二氢硅与四氯化硅进行反歧化反应制备三氯氢硅技术的研究进展,简述了二氯二氢硅在制备多晶硅、硅烷气、多晶硅薄膜、氮化硅薄膜和二氧化硅薄膜中的应用。论文目录1二氯二...