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一种利用紫外激光加工干法刻蚀中硬掩膜板的方法论文和设计-陈云
全文摘要一种利用紫外激光加工干法刻蚀中硬掩膜板的方法，通过利用紫外激光直接将图案化的光刻胶转化为具有目标设计图案的石墨烯，在采用干法刻蚀或氧气等离子刻蚀去除未完全转化的有机物，...