多层衍射光学元件论文

镀有增透膜的多层衍射光学元件的优化设计方法
论文摘要基于等效介质理论和多层衍射元件的本体相位延迟,考虑增透膜相位调制的影响,对多层衍射光学元件的表面微结构参数进行优化;采用优化设计方法分析应用于可见光波段镀有增透膜的多层...