多层薄膜论文

利用光热反射法研究多层薄膜结构的散热性能
论文摘要搭建了纳秒激光加热、连续激光探测的光热反射实验系统,通过测量芯片中多层微米厚度薄膜不同位置的反射信号,评估了不同薄膜结构对器件散热的影响.在多层薄膜热传导模型的基础上,...
大口径光学系统的设计与公差分析
论文摘要随着科学技术的发展,人们对光学系统成像质量的要求越来越严格,对高分辨率的光学成像系统的需求也更加迫切。随着高分辨率的光学系统的出现,光学系统的口径也回随之增大,大口径光...