低温直接键合论文

基于硅硅低温直接键合的MEMS打印喷头制作工艺
论文摘要针对一种MEMS压电式集成打印喷头复杂腔室结构的加工,提出了一套基于ICP刻蚀结合硅硅低温直接键合的制作工艺。首先通过ICP体硅干法刻蚀工艺分别制作了打印喷头的上下腔室...