低能离子束刻蚀论文

不同氪离子束参数下的蓝宝石辐照实验
论文摘要在不同氪（Kr）离子束参数下,研究了微波回旋共振离子源对旋转蓝宝石样片表面的刻蚀效果。采用四因素三水平正交实验,分析了Kr+离子束的入射角度、离子束能量、束流密度、作用...