电子束蒸发论文

论文摘要随着光学事业的不断发展,紫外探测技术以其独特的优势逐渐走进人们的视野,并开始朝着全方位、高标准的方向发展,而滤光片作为紫外探测系统中重要的一环,发挥着至关重要的作用。为...

论文摘要采用电子束蒸镀金膜时,会有微小的黑色颗粒出现在金膜的表面,这些黑色的颗粒形状大多不规则,尺寸集中在100nm～-1μm之间,传统的蒸镀理论较难解释这些黑色颗粒的成因。本...

全文摘要电子束蒸发式真空镀膜机，包括腔体组件、伞架组件、高阀组件、深冷系统、管道系统、扩散泵、罗茨泵、机械泵、离子源组件、电子枪组件、电控柜组件、线槽组件和门夹紧组件；所述伞架...

全文摘要电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置，包括固定修正装置Ⅰ、固定修正装置Ⅱ、活动修正装置、1个蒸发源、4个卤素灯、1个离子源和1个电子枪；所述1个蒸发源、4个卤素灯、1个离子源在...