论文摘要本报讯(记者赵同增通讯员张坤)你知道吗?某些气体达到一定的纯度,可以作为工业原料,可以成为食品添加剂,还可以在芯片制造等电子工业中发挥保护或刻蚀等作用,被称为电子工业的...
论文摘要二氧化硫、废旧铅酸蓄电池等尾气、尾渣必须治理,但是对于尾气、尾渣、废水如何开发利用,则是一道摆在企业面前的新课题。必须探索、尝试让废弃资源变身成新的产品、高端产品。近年...
论文摘要以氯甲烷、二甲基一氯硅烷为原料,经格氏反应生成格氏试剂再与二甲基一氯硅烷反应得到三甲基硅烷,经加压精馏得到电子级三甲基硅烷,总收率达到68.2%(以二甲基一氯硅烷计),...
论文摘要多晶硅在诸多领域被广泛的应用。目前改良西门子法以其节能、节省物耗、减少污染等优点被广泛应用于多晶硅生产中。多晶硅生产厂家现在大多只能生产出太阳能级多晶硅,而对电子级多晶...
论文摘要集成电路工艺用过氧化氢经水稀释10倍,采用高分辨电感耦合等离子体质谱仪进行Na和B等杂质检测。采用标准加入法,选择高分辨电感耦合等离子体质谱仪的中分辨模式,有效消除了F...
论文摘要围绕生产电子级多晶硅关键工艺控制各环节,研究了如何生产出高品质电子级多晶硅产品。论文目录1电子级多晶硅制备技术1.1改良西门子法1.2硅烷CVD法2电子级多晶硅生产关键...
论文摘要介绍了四川天一科技股份有限公司自主研发的两段PTSA法制备电子级液体CO2技术,该技术以富CO2的气体作为原料,提纯得到电子级液体CO2,产品符合半导体行业的质量要求。...