电化学刻蚀论文

电子束辅助电化学制备光波导及特性研究
论文摘要集成光路具有体积小、集成度高、性能稳定等优势,相较于集成电路有更好的信息传输和处理能力,发展前景广阔。光波导作为集成光路最基本的元件,其制备方法的研究仍具有极大价值。本...