电感耦合等离子论文

InAs/GaSb Ⅱ类超晶格台面的ICP刻蚀研究
论文摘要报道了采用Cl2/N2电感耦合等离子（ICP）组合体刻蚀工艺在InAs/GaSbⅡ类超晶格红外焦平面台面加工过程中的研究结果,实验采用分子束外延技术在GaSb衬底上生长...