等离子物理气相沉积论文

等离子物理气相沉积准柱状结构YSZ涂层的制备及抗热震性能
论文摘要本工作对比研究了喷涂功率、喷涂距离等主要工艺参数对等离子物理气相沉积（PS-PVD）准柱状结构氧化钇稳定氧化锆（YSZ）涂层微观结构及沉积速率的影响,并对优选喷涂工艺制...