等离子体源离子注入论文

等离子体源离子注入鞘层动力学行为的数值模拟研究
论文摘要等离子体源离子注入（Plasmasourceionimplantation）技术作为冷等离子体表面改性处理的一种方式,广泛应用在半导体PN结制备、金属表面抗腐抗磨处理和...