等离子体清洗论文

同步辐射光束线辉光放电清洗研究
论文摘要同步辐射光束线上存在的碳污染问题不仅影响光束线特别是软X光束线传输效率而且会降低光学元件使用寿命。目前解决碳污染问题主要途径是对已经污染的光学元件进行清洗或更换。已有大...