等离子溅射镀膜论文

等离子镀膜工艺中的一个转动长方体优化问题
论文摘要研究了等离子体镀膜加工衍生的一个工艺问题,即寻找最好的公转、自转速度比例,使得按照该速度比旋转的长方体工件的每个面在镀膜加工过程中接收密度尽可能接近的等离子沉积.通过分...