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大气压脉冲调制射频激励CO2/Ar放电的电学特性
论文摘要脉冲调制射频具有调制频率、占空比、输入功率等多种可调参数,可以较大范围地调节放电等离子体参数,因此其放电特性与传统交流或直流放电相比具有独特的特点。为此研究了在大气压条...