导模法论文

β-Ga2O3单晶腐蚀坑形貌研究
论文摘要详细介绍了（100）、（010）和（■01）三种不同晶面的β-Ga2O3单晶腐蚀坑形貌状态及不同形貌的演变过程。所用β-Ga2O3单晶样品均为导模法（EFG）制备,且经...
β-Ga2O3体单晶X射线光电子能谱分析
论文摘要通过对导模法制备的非故意掺杂、Si掺杂β-Ga2O3晶体和Si掺杂后退火处理的β-Ga2O3晶体进行了X射线光电子能谱分析（XPS）,对比分析不同样品的Ga3d、Ga2...