氮化铬论文

直流和高功率磁控溅射制备氮化铬薄膜及其结构性能比较
论文摘要目的比较直流磁控溅射(DCMS)和高功率磁控溅射(HiPIMS)两种沉积技术制备的氮化铬(CrN)薄膜的结构和性能。方法采用DCMS和HiPIMS沉积技术,在金属镍(N...
静态阴极电弧蒸发制备的CrN涂层的结构和性能（英文）
论文摘要采用静态阴极电弧蒸发法,在基体面向等离子体源的正表面和其背面沉积CrN涂层。研究氮气压力对涂层的结构、相组成、力学性能和摩擦学性能的影响。分别用扫描电镜、接触轮廓仪和X...