• SiO2光学薄膜的吸收边特性

    SiO2光学薄膜的吸收边特性

    论文摘要二氧化硅(SiO2)是光学系统中最常用光学薄膜材料之一,其微观结构、缺陷等信息对于研究和提高薄膜的性能具有重要作用。本文通过电子束蒸发、离子辅助、磁控溅射方法制备SiO...