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辉光放电反应腔内带电粒子瞬态物理特性仿真研究
论文摘要建立了辉光放电圆柱型直流反应腔内等离子体的二维流体数学模型,利用COMSOL软件的有限元方法求解相应的数学方程,模拟圆柱形直流反应腔内氩气辉光放电生成的等离子体的瞬态物...