大尺寸板状构件论文

大尺寸板状构件超声阵列悬浮技术
论文摘要为了提高超声悬浮性能及其柔性化应用能力,满足包括集成电路硅片和太阳能电池极板等构件的非接触抓取和输运的应用需求,开展基于换能器阵列的大尺寸板状构件超声悬浮技术研究.采用...