磁控溅射论文

全文摘要本申请公开了一种新型磁控溅射导向式泵抽装置，包括泵壳，所述泵壳的内部套有一个圆柱体部件，所述圆柱体部件内焊接式安装有导向槽，所述导向槽从所述圆柱体部件的底端回旋式延伸至...

全文摘要本实用新型公开了一种钢管连续式溅射镀膜机，包括若干相互连通的第一腔室和第二腔室，首尾两个所述第一腔室上分别安装有前门阀和后门阀，部分所述第一腔室上连接有真空泵组，连接有...

全文摘要本实用新型公开了一种汽车轴承自动化无损检测用凹型128信号源的相控阵超声波探头，包括背衬材料、压电晶片及匹配层材料，所述的压电晶片上表面通过磁控溅射镀有上电极层2‑4，...

全文摘要本实用新型公开了一种桥梁钢结构KTY型焊缝检测用梯形阵元排列的相控阵超声探头，包含多个梯形阵元，梯形阵元之间采用阵元间隔声材料隔开，梯形阵元从上至下包含匹配层材料、压电...

全文摘要本实用新型公开了一种磁控溅射门防下垂辅助装置，涉及防下垂技术领域，包括连接体、辅助装置。连接体左端具有调整体，连接体右端固定在磁控溅射门上。辅助装置固定在磁控溅射设备上...

全文摘要本发明提供一种适用于钛合金表面的纳米多层薄膜及其制备方法，该多层薄膜从钛合金表面向外依次为氮化钛薄膜层、碳化钛薄膜层、氮化钛薄膜层、碳化钛薄膜层以及掺铝的类金刚石薄膜层...

全文摘要本实用新型提供了金属化磁芯，包括磁芯，磁芯上设有电极区域，电极区域上形成有金属膜层，金属膜层包括依次层叠的第一镀层和第二镀层，第一镀层包括交替设置的n层第一金属层和n‑...

全文摘要本实用新型公开了一种新型三靶磁控溅射镀膜机，包括基座上开设第二滑槽，第二滑槽内滑动连接有基柱，基柱的顶部开设有第二螺纹孔，第二螺纹孔与螺柱螺纹连接，螺柱的顶部与升降转轴...

全文摘要本实用新型实施例公开了一种磁控溅射反应腔室的冷却组件及其磁控溅射设备，其中的组件包括：适配器；适配器被设置为遮蔽内衬的底部和侧壁，用于将内衬固定在反应腔室内；适配器的侧...

全文摘要本实用新型公开了一种干式安装磁铁的磁控溅射靶源，包括靶座和磁铁座，所述靶座的下方设置有磁铁盖，且磁铁盖的下方设置有强磁一，所述强磁一的左侧设置有强磁二，且强磁二的左侧安...

全文摘要本发明涉及一种基于TiN衬底的NiFe磁性合金薄膜及其制备方法，属于磁性材料领域。本发明采用磁控溅射的方法，首先在玻璃基片上生长CrRu层；然后在CrRu层上磁控溅射生...

导读:本文包含了电子束曝光机论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献，主要关键词:电子束,光刻,纳米,密度,双晶,磁控溅射,能量。电子束曝光机论文文献综述写法尤春,刘维维[1]（...

导读:本文包含了电磁场仿真论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献，主要关键词:电磁场,绝缘子,平面波,波导,磁控溅射,电机,耦合器。电磁场仿真论文文献综述写法崔岁寒,吴忠振,肖...

导读:本文包含了磁场分布论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献，主要关键词:磁场,辉光,过电压,变压器,波导,磁控溅射,框架。磁场分布论文文献综述写法张小欧[1]（2019）在...

导读:本文包含了金属多面体论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献，主要关键词:多面体,金属,分子,羧酸,框架,磁控溅射,棱柱。金属多面体论文文献综述写法穆飞虎,周诗健,王芸,王...

导读:本文包含了导电膜论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献，主要关键词:柔性,磁控溅射,石墨,透明,薄膜,纳米,光电。导电膜论文文献综述写法陈志军,周芳,杨学印,王薇,胡彦平...

导读:本文包含了湿法刻蚀论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献，主要关键词:湿法,磁控溅射,各向异性,集成电路,薄膜,电阻,各向同性。湿法刻蚀论文文献综述写法杜秀蓉,宋学富,孙...

导读:本文包含了光学基片论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献，主要关键词:光学,光子,光栅,表面,原子,布拉格,磁控溅射。光学基片论文文献综述写法廖莎莎,李强,廖希,明艳[1...

导读:本文包含了直流反应磁控溅射论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献，主要关键词:磁控溅射,薄膜,氧化钨,氧化亚铜,氮化物,微结构,衬底。直流反应磁控溅射论文文献综述写法王美...

导读:本文包含了脉冲功率调制论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献，主要关键词:脉冲,磁控溅射,功率,功率放大器,激光器,峰值,连续光谱。脉冲功率调制论文文献综述写法杨超,蒋百...