![Al含量对Cr-Al涂层抗高温氧化性能的影响]()
论文摘要探究Al含量对Cr-Al涂层的抗高温氧化性能影响,得到最适合Cr-Al涂层的Al元素量,通过磁控溅射沉积技术在锆合金表面制备了4～6μm的铬铝涂层。研究了Al、Cr0....
![柔性镀膜材料在电路板行业的应用]()
论文摘要本文主要介绍了柔性镀膜材料的制备方法、应用发展状况以及柔性镀膜材料在柔性电路板行业的应用和发展趋势,重点阐述了采用真空磁控溅射工艺制取高性能柔性电路板材料的研发和制备过...
![工业设计用AZ91D合金的表面改性层性能研究]()
论文摘要采用磁控溅射和微弧氧化法在工业设计用AZ91D镁合金表面制备了不同的改性层,研究了磁控溅射和微弧氧化时间对改性层物相组成、电化学性能和耐磨性能,并分析了相应地作用机理。...
![溅射沉积WSx/Ni/a-C/Ni多层膜的微结构及大气环境摩擦学性能]()
论文摘要采用磁控溅射技术在硅基体上交替沉积WS2、Ni及非晶碳（a-C）层制备出不同Ni层厚度的WSx/Ni/a-C/Ni多层膜.利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪、...
![Ag掺杂ZnSb基热电薄膜的膜层结构和热电性能]()
论文摘要ZnSb基热电材料是中温区热电性能较好的一种材料,为进一步提升其性能,采用磁控溅射（射频+直流）的方法制备掺杂型ZnSb基热电薄膜;通过改变溅射功率控制Ag元素的掺杂量...
![15-15Ti钢上Ti/TiN/SiC薄膜的制备及耐铅铋合金腐蚀性能研究]()
论文摘要文章采用磁控溅射法在15-15Ti钢表面沉积Ti/TiN/SiC功能梯度薄膜,并用X射线衍射仪（X-raydiffraction,XRD）、场发射扫描电子显微镜（fie...
![改善玻璃衬底上ZnO薄膜特性的方法]()
论文摘要利用磁控溅射法在玻璃衬底上淀积铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜作为缓冲层,在其上制备了ZnO薄膜。重点研究了AZO薄膜作为缓冲层对玻璃衬底上ZnO薄膜特性的影响。扫描电子显微...
![钼粉粒径对钼钛薄膜性能的影响]()
论文摘要将钼钛合金靶材在同一溅射设备、同一溅射工艺下进行磁控溅射实验,研究不同粒径钼粉原料对靶材溅射薄膜性能的影响。通过XRD、SEM和直流四探针法分析结果表明,颗粒大小均匀、...
![不锈钢表面溅射沉积氮化钛薄膜的结构与性能分析]()
论文摘要采用直流反应磁控溅射法,通过改变溅射时间在不锈钢表面溅射氮化钛薄膜。采用分析天平、SEM、XRD和显微硬度计等对薄膜的质量增加率、微观结构、外观形貌和显微硬度进行研究。...
![基于磁控溅射制备铜基表面增强拉曼散射基底]()
论文摘要为了提高拉曼光谱仪的探测灵敏度,设计了铜基表面增强拉曼散射（surfaceenhancedRamanscattering,SERS）薄膜基底。以Cu40Ti60合金为靶...
![衬底温度对钛镁掺杂氧化锌薄膜光学性能的影响]()
论文摘要以石英玻璃作为衬底,采用射频磁控溅射技术沉积钛镁掺杂氧化锌(TMZO)薄膜样品.基于分光光度计测量的透射光谱数据,利用光学表征方法确定了薄膜样品的折射率、消光系数和光学...
![磁控溅射表面镀膜对Nd2Fe14B稀土永磁体抗腐蚀性能的影响]()
论文摘要在Nd2Fe14B稀土永磁体基体表面,采用磁控溅射（直流+射频）技术制备了Ti/Ni,Ti/Al和Al/Ni等二元合金薄膜和Ti/Al/Ni三元合金薄膜。并通过中性盐雾...
![银靶电流及溅射偏压对溅射沉积Cu/Ag薄膜导电性能的影响研究]()
论文摘要磁控溅射技术制备有望作为电接触材料的Cu-Ag薄膜的工艺探索。利用方块电阻仪测试薄膜电阻,借助白光干涉仪和扫描电镜分析不同电流和不同偏压下粗糙度、薄膜厚度、Ag含量及微...
![Ga2O3薄膜的常温磁控溅射制备对其结构及光学特性的影响]()
论文摘要本文通过常温射频磁控溅射在单抛硅片和石英玻璃基底上溅射制备Ga2O3薄膜。采用分光光度计和椭偏仪测试薄膜的紫外光波段的透过率、折射率和光学吸收,利用X射线光电子能谱（X...
![钛合金双极板磁控溅射制备TiC和TiCrC改性镀层的性能]()
论文摘要使用非平衡磁控溅射技术,在钛合金表面制备TiC、TiCrC镀层。使用XRD、SEM、划痕实验、电化学和接触电阻分析了镀层的表面质量、耐蚀性能和接触电阻。结果表明:TiC...
![磁控溅射Cr/CrN/CrAlSiN复合涂层高温氧化行为研究]()
论文摘要采用等离子增强磁控溅射（PlasmaEnhancedMagnetronSputtering,PEMS）技术通过改变Al靶功率成功制备了不同Al含量Cr/CrN/CrAl...
![一种磁控溅射用节能装置论文和设计-王文华]()
全文摘要本实用新型公开了一种磁控溅射用节能装置，包括放卷辊和主动转轴，所述放卷辊设置在真空室内腔的顶部，放卷辊的下方设置收卷辊，所述主动转轴设置在真空室的左侧，真空室的右侧设置...
![一种磁控溅射设备抽气装置论文和设计-刘冬]()
全文摘要本实用新型公开了一种磁控溅射设备抽气装置，包括抽气接头、接头卡环、单向阀、存气腔、限位环、抽气活塞、抽气机外壁、活动腔、活塞杆、液压缸、出气管、缓流室、缓流室进气端、缓...
![成膜基板的降温系统论文和设计-邱大均]()
全文摘要本实用新型提供一种成膜基板的降温系统，包括：冷却板和吸热板；所述冷却板和所述吸热板紧贴固定连接，均竖立设置在真空转换腔体内，所述吸热板与位于所述基板出轨道上的成膜基板相...
![基于WO3/Pd复合膜的锥型光纤光栅氢气传感器论文和设计-陈宏晨]()
全文摘要本实用新型公开了基于WO3\/Pd复合膜的锥型光纤光栅氢气传感器，由光纤光栅解调仪、计算机、气体流量控制阀、气室、氢气瓶、氮气瓶、WO3\/Pd复合膜、光纤耦合器、氢气...
