磁控溅射离子镀论文

不同比例钛掺杂对类金刚石薄膜性能的影响
论文摘要为研究钛掺杂对类金刚石薄膜性能的影响,采用磁控溅射制备不同比例钛掺杂类金刚石膜,并通过扫描电镜（SEM）、X-ray光电子谱仪、拉曼光谱仪（Roman）以及洛氏硬度压痕...