磁控共溅射论文

磁控共溅射法制备Sn-Cu复合薄膜材料及其电化学性能研究
论文摘要采用磁控共溅射法在Cu箔上制备了Sn-Cu复合薄膜材料,探究了Cu靶的溅射功率对Sn-Cu复合薄膜材料电化学性能的影响。研究发现,当Cu靶的溅射功率为25W和充放电电流...