磁控磁射论文

CrC中间层碳含量对CrC/a-C∶H涂层附着力的影响
论文摘要目的提高氢化非晶碳涂层的附着力,研究不同碳含量的CrC中间过渡层对CrC/a-C∶H涂层附着力的影响。方法用反应磁控溅射结合射频PECVD方法制备CrC/a-C∶H涂层...