成分梯度溅射论文

高频软磁薄膜及其频率调控研究
论文摘要信息化时代的电子元器件逐渐向着薄膜化和集成化的方向发展。微波软磁薄膜能有效减小滤波器、薄膜电感器、天线等电磁元器件的尺寸,因此在微型化或集成电路器件中得到了广泛的应用。...