超衍射极限论文

基于纳米球近场效应的飞秒激光纳米加工研究
论文摘要随着纳米加工技术的发展,对加工精度的要求日益提高。利用飞秒激光照射纳米小球,可以在待加工基底表面产生局域的近场增强,进而实现超衍射极限的纳米加工。本文对金（Au）纳米小...