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氩离子刻蚀对TFA-MOD法YBa2Cu3O7–x薄膜性能的影响研究
论文摘要TFA-MOD工艺制备的YBa2Cu3O7–x(YBCO)薄膜有独特的生长机制,高温晶化后的YBCO薄膜表面存在一层由Ba-Cu-O异质相及a轴生长的YBCO晶粒组成的...