超薄钛薄膜论文

纳米压痕方法测量超薄钛薄膜弹性模量的研究
论文摘要利用直流磁控溅射(DCMS)在(100)方向的硅片上沉积厚度为60、90、120、180nm的钛薄膜。采用布鲁克原子力显微镜(AFM)以及扫描电镜/扫描探针显微镜(SE...