材料处理论文

小尺寸高功率密度等离子体放电与材料处理
论文摘要等离子体源特性研究是低温等离子体技术应用的基础。小尺寸高功率密度等离子体具有功耗低、能量集中和高活性等特点,在局部、快速、高反应活性的处理工艺中有着重要应用。由于大的比...