材料表面与界面论文
TaN薄膜的等离子体增强原子层沉积及其抗Cu扩散性能
论文摘要使用Ta[N(CH3)2]5和NH3等离子体作为反物用等离子体增强原子层沉积工艺生长了TaN薄膜,借助原子力显微镜、X射线光电子能谱、四探针和X射线反射等手段研究了薄膜...氮流量比对磁控溅射(CoCrFeNi)N_x高熵合金薄膜的组织和性能的影响
论文摘要采用直流磁控溅射法制备(CoCrFeNi)Nx高熵薄膜,研究了氮流量比对薄膜的力学性能和电磁性能的影响。结果表明,在不同氮流量比条件下制备的(CoCrFeNi)Nx薄膜...微媒体时代材料类专业《材料表面与界面》课程教学改革探索
论文摘要根据我校《材料表面与界面》课程教学现状的综合分析,提出课程教学改革的新方向和新思路。借助微媒体开放性、互动性强、不受时空限制的优势,在教学过程中将微媒体与多种教学方法相...