波前测量论文

大口径光学元件功率谱密度的拼接干涉检测
论文摘要为实现大口径光学元件波前功率谱密度（PSD）的高精度、低成本检测,提出了一种将干涉与拼接技术结合的检测方法。推导了波前PSD的计算方法,提出了基于相关匹配的子孔径拼接算...