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晶圆加工工艺中的传输装置论文和设计-侯晓弈
全文摘要本实用新型涉及一种晶圆加工工艺中的传输装置,其目的是通过改进传输装置中对晶圆进行“取放”的功能结构,从而改变对晶圆、特别是超薄晶圆进行固定和移动的着力方式,达到减少晶圆...
一种伯努利接头论文和设计-陈龙
全文摘要本实用新型公开了一种伯努利接头,该接头包括管体和锥形芯,管体具有气体进口、液体进口和气液混合出口,气体进口适于与压缩气体输出管相连。锥形芯设在管体内部,锥形芯的小端朝向...