表面倾斜角论文

采用五棱镜扫描法检测大口径平面镜的面形
论文摘要为了提高大口径平面镜面形检测的精度和效率,提出了一种新的五棱镜扫描法。该方法采用径向扫描的方式,使用一个扫描的五棱镜和一台自准直仪来测量表面倾斜角的差值,然后将被测平面...