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    CVD ZnSe光学透镜超精密加工工艺优化技术研究

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    基于总散射测量的表面质量检测新方法

    论文摘要光学元件在加工及使用过程中引入的麻点或擦痕会严重影响其表面质量。基于Peterson疵病散射理论,将麻点或擦痕引起的散射光分为两部分,即对麻点(或擦痕)内部表面的散射光...