薄膜物理与技术论文

《薄膜物理与技术》课程教学改革的研究与实践
论文摘要《薄膜物理与技术》是微电子、光学工程、应用物理学等相关专业本科生重要的专业基础课,其教学目的是使学生掌握薄膜制备技术、薄膜形成与生长、薄膜性能表征、薄膜的性质和应用等薄...