薄膜铌酸锂论文

LNOI光电子集成芯片技术
论文摘要介绍了LNOI材料、光波导制备、光耦合和器件技术方面的研究进展,并针对LNOI材料在光电集成芯片方面的发展进行了展望。论文目录引言1LNOI材料技术2LNOI光波导制备...