论文摘要系统地对基于高介电常数材料HfO2和传统的介质材料SiO2这两种不同栅介质层材料的硅薄膜晶体管进行建模并对不同尺寸和温度条件下的薄膜晶体管的工作特性进行了研究.获得了不...
全文摘要本发明提出了一种薄膜晶体管及其制造方法,属于薄膜晶体管领域;该薄膜晶体管包括:半导体材料层、第二电极、隔离层以及第一引出电极;半导体材料层由半导体材料形成,包括对半导体...
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