薄膜厚度论文

膜层参数对长周期光纤光栅传感灵敏度的影响
论文摘要基于耦合模理论,采用三包层光纤光栅模型,对镀有敏感薄膜的长周期光纤光栅的传感特性进行了分析。当敏感薄膜的光学参数（薄膜折射率和薄膜厚度）发生变化时,长周期光纤光栅传输谱...
晶化率及膜厚对薄膜硅负极循环性能的影响
论文摘要采用微波等离子体增强化学气相沉积技术和磁控溅射技术制备不同晶化率和不同厚度的硅薄膜负极材料,并通过系列测试来研究晶化率和薄膜厚度对硅薄膜负极材料循环性能的影响。结果表明...
燃料电池薄膜在不同电流密度下的水传递规律
论文摘要为了提高燃料电池的性能而采用的质子交换膜越来越薄,但薄膜会带来水的反渗透而导致阳极水淹问题.为了研究低加湿条件下不同电流密度燃料电池薄膜的水传递规律,设计了三维简化电池...
基于激光外差干涉术的薄膜厚度测量方法
论文摘要针对光学薄膜厚度测量困难问题,提出了一种基于激光外差干涉术的薄膜厚度测量方法。采用经典迈克尔逊干涉光路,利用外差干涉原理将薄膜厚度差转换为光程差,以精密位移平台为扫描机...