靶电流论文

高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)等离子体放电时空特性研究进展
论文摘要高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)放电凭借着高离化率优势,已经成为物理气相沉积(PVD)领域的核心技术。鉴于HiPIMS放电具有复杂的物理场配置和兆瓦级的峰值功率,其产...