靶材烧蚀论文

NiCr和TiAl合金靶材阴极电弧弧斑的运动特性
论文摘要研究采用多弧离子镀技术镀膜时,电弧放电阶段中电弧弧斑的运动对后续膜层质量与靶材烧蚀有着非常重要的影响,目前很少有弧斑运动相关的研究。研究通过外加脉冲磁场以实现对阴极靶面...