靶材论文

论文摘要以氧化锆（ZrO2）、硼酸（H3BO3）和碳粉（C）为原料,硼（B）粉为添加剂,采用碳热还原法合成硼化锆（ZrB2）粉体,在真空碳管炉中,采用氩气气氛保护,加热升温至1...

论文摘要对冷压大尺寸ITO靶材毛坯出现的靶材质量问题进行详细分析。实验表明:选用质量比为9∶1的In2O3与SnO2粉末。将粉末配成固含量65%的溶液,添加ITO粉末质量的2%...

论文摘要钨钼及其合金因具有良好的导热、导电、高温强度和耐磨等特性,成为电子电力、金属材料等航天工业应用的重要材料,钨钼靶材是产生X射线的重要组成部件,被广泛应用于医学和材料等领...

论文摘要对XRF法测定稻米中重金属元素时X射线管激发条件和滤光片等测量条件的选择作了理论分析;以Cd元素为例,讨论其最优方案,再通过MC软件进行蒙特卡罗模拟,计算出峰背比,得到...

论文摘要采用酸洗除杂、氢氟酸溶解、氨水沉淀、水洗过滤、喷雾干燥,然后在氢气气氛中高温煅烧的还原脱氧工艺,制备出可用于制备靶材的铌氧化物粉体,通过差热分析、XRD、TEM、粒度分...

论文摘要钌靶在电子信息行业中具有重要的应用价值,我国的钌靶制备技术与国外相比尚存在一定差距。综述了钌提纯中传统提纯工艺和新提纯工艺的特点。对比了热压(HP)、直接热压(DHP)...

论文摘要液晶显示器的背光源发出白光,而想要获得彩色显示,必须依靠显示关键材料——彩色滤光片实现。彩色滤光片的制作目前在国内已相对成熟,生产所需的材料种类较多,本文比较全面地介绍...

论文摘要对ITO靶材的直流磁控溅射工艺进行研究,通过正交试验方法确定制备ITO薄膜的最优工艺参数,并明确了溅射温度、氧氩比、溅射气压和溅射功率密度对ITO薄膜电阻率和可见光透过...

全文摘要本实用新型提供一种大型平面靶材焊接用加热平台，包括控制框以及加热器；所述控制框上设置有加热平板，所述加热平板上设置有感温探头，所述加热器以相同距离为一组分组设置在加热平...

全文摘要本实用新型公开了一种靶材除尘装置，包括旋转底座、吹风口、吸尘网罩和罩壳，所述旋转底座用于安放靶材；多个吹风口分别位于靶材的上端面上方和侧面旁边；从吹风口吹出的风向朝向靶...

全文摘要公开了一种制造平面锂靶材组件的设备，包括：真空室；与真空室相连的抽真空装置和可选的破真空装置；用于支撑初始靶材组件的支撑件和用于向初始靶材组件施压的施压件，其中所述支撑...

全文摘要本申请的实施例涉及了一种具有复合涂层的机械部件。具有复合涂层的机械部件包括：基体、结合层及交替层。所述结合层形成于所述基体的至少一部分表面上，其中所述结合层的材质为包含...

全文摘要本申请公开了一种新型卷绕式真空内纠偏装置，包括真空腔、真空泵、供气机构、放料辊、收料辊、纠偏辊和靶材，所述真空泵和所述供气机构均与所述真空腔连通，所述放料辊、所述收料辊...

全文摘要本实用新型公开了一种新型三靶磁控溅射镀膜机，包括基座上开设第二滑槽，第二滑槽内滑动连接有基柱，基柱的顶部开设有第二螺纹孔，第二螺纹孔与螺柱螺纹连接，螺柱的顶部与升降转轴...

全文摘要本实用新型公开了一种长条型靶材的自动绑定加工设备，其包括至少一个同步加热A料和B料的加热台，加热台上设置一将A料两端抬起的第一抬起机构，加热台上方可水平旋转地设置一翻转...

全文摘要本实用新型公开了一种SHJ太阳电池的TCO导电膜镀膜装置，涉及太阳能电池制造技术领域，包括真空室，所述真空室内设置有机械输送装置，所述机械输送装置的上方设置有阴极结构，...