晶化率论文

晶化率及膜厚对薄膜硅负极循环性能的影响
论文摘要采用微波等离子体增强化学气相沉积技术和磁控溅射技术制备不同晶化率和不同厚度的硅薄膜负极材料,并通过系列测试来研究晶化率和薄膜厚度对硅薄膜负极材料循环性能的影响。结果表明...