镀膜论文

柔性卷绕镀膜真空隔离技术
论文摘要改善柔性卷绕镀膜设备放卷室和工艺真空室、收卷室和工艺真空室之间隔离阀设计,以增强隔离阀密封性能,在柔性卷绕镀膜设备放卷室和工艺真空室、收卷室和工艺真空室之间各增加一个隔...
单一相ZrB2靶材制备及镀膜表征
论文摘要以氧化锆（ZrO2）、硼酸（H3BO3）和碳粉（C）为原料,硼（B）粉为添加剂,采用碳热还原法合成硼化锆（ZrB2）粉体,在真空碳管炉中,采用氩气气氛保护,加热升温至1...
磁控溅射工艺对CrN薄膜及其腐蚀行为的影响
论文摘要通过磁控溅射技术制备了CrN薄膜,使用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)等方法研究了N2分压、溅射功率以及夹杂物数量对CrN薄膜结构、成分、耐蚀性能的影响。结果表...