mems麦克风论文

一种MEMS麦克风论文和设计-戴建业
全文摘要本实用新型公开一种MEMS麦克风，包括形成容纳空间的壳体，以及收容在所述壳体内的背极和振膜，所述背极与振膜构成平板式电容器结构，所述壳体侧壁的外表面靠近胶水涂抹处向斜上...
MEMS麦克风论文和设计-徐达
全文摘要本实用新型提供一种MEMS麦克风，包括MEMS芯片，MEMS芯片包括具有背腔的基底、固定在基底上的背极结构和振膜，其中，在振膜上沉积有吸光层，吸光层用于吸取从基底的背腔...
MEMS麦克风和电子设备论文和设计-徐达
全文摘要本实用新型公开一种MEMS麦克风和应用该MEMS麦克风的电子设备。其中，MEMS麦克风包括外部封装结构和设于所述外部封装结构内的MEMS芯片，所述外部封装结构包括电路板...
一种信噪比高的MEMS麦克风论文和设计-郭桥生
全文摘要本实用新型公开了一种信噪比高的MEMS麦克风，包括下层PCB板和具有容纳腔的上壳体，所述上壳体固定在下层PCB板的顶部，所述下层PCB板的顶部放置有位于容纳腔的MEMS...