多弧离子镀TiCrSiCN硬质薄膜的微观结构与摩擦学性能

论文摘要

采用工业型多弧离子镀设备在4Cr5MoSiV1工业钢表面沉积TiCrSiCN硬质薄膜。借助扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、显微硬度计、划痕仪和摩擦磨损仪分析了TiCrSiCN薄膜的微观结构、力学性能和摩擦学性能。结果表明,TiCrSiCN薄膜为纳米晶和非晶的复合结构,其中的Ti(CN)和CrN纳米晶可显著提高硬度和耐磨性,而非晶相Si3N4与C起到减摩作用。高Cr和C含量的薄膜硬度高,与基材的结合力强,干滑动摩擦因数、干滑动磨损率和微磨料磨损率都明显降低,耐磨减摩效果好。

论文目录

• 1 实验
•   1.1 材料及薄膜的制备
•   1.2 测试方法
• 2 结果与讨论
•   2.1 薄膜的组织结构
•   2.2 薄膜的性能
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 郭岩,叶智,徐勃,杨文涛,张童童,张少勇,祖平文,田树高,聂海军

关键词: 钛铬硅碳氮,薄膜,多弧离子镀,微观结构,硬度,结合力,摩擦磨损行为

来源: 电镀与涂饰 2019年21期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 材料科学,金属学及金属工艺,工业通用技术及设备

单位: 华电电力科学研究院有限公司

分类号: TG174.4;TB383.2

DOI: 10.19289/j.1004-227x.2019.21.005

页码: 1166-1171

总页数: 6

文件大小: 1454K

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