PECVD RF系统原理和故障改善

论文摘要

本文介绍了PECVD G8.5设备RF系统的结构和工作原理。结合PECVD设备在实际生产过程中反射功率过高的问题,通过RF Generator设置,RF match电容配比实验,设备故障以及备件管理的分析,制定了相应的解决对策,从而实现RF系统阻抗匹配,降低RF系统故障发生率。

论文目录

• 1 PECVD RF系统
•   1.1 PECVD RF系统构成
•   1.2 RF系统匹配原理
• 2 RF故障改善
•   2.1 RF Generator参数优化
•   2.2 RF match电容配比优化
•   2.3 设备故障改善
•   2.4 备件管理
• 3 结语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 周立,杨晓东,金哲山,董杰,周东淇,张猛,胡毓龙,李应胜

关键词: 阻抗匹配,反射功率,射频发生器,匹配器

来源: 中国设备工程 2019年09期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 材料科学,工业通用技术及设备

单位: 北京京东方显示技术有限公司

分类号: TB383.2

页码: 55-56

总页数: 2

文件大小: 1551K

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