基于高光谱成像芯片中布拉格反射镜的设计和制备

论文摘要

针对传统高光谱成像系统体积质量大、光机结构复杂、成本高等缺点,亟待微小型化的需求,开展高光谱成像芯片中布拉格反射镜设计和制备的研究,根据布拉格分布膜系理论开发的多层膜系结构的模拟器,并根据结构设计完成了5层和7层膜系布拉格反射镜的制作,利用可见/近红外分光光度计,对布拉格反射镜的反射率进行测量,与模拟器进行对比,由于布拉格镜的实际制备存在"瑕疵",导致误差≤3%,多层膜系结构模拟器可以指导实际布拉格反射镜的制备,为高光谱成像芯片化奠定基础。

论文目录

• 0 引言
• 1 高光谱成像系统
• 2 布拉格反射镜原理
• 3 模拟与试制结果分析
•   3.1 布拉格反射镜的结构模拟和制备
•   3.2 布拉格镜的光学参数测试与分析
• 4 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 王天鹤,刘舒扬,张晨,贾晓东

关键词: 高光谱成像芯片,布拉格反射镜设计,法珀腔多光束干涉,多层膜系结构

来源: 红外与激光工程 2019年10期

年度: 2019

分类: 信息科技,基础科学

专业: 物理学,无线电电子学

单位: 天津津航技术物理研究所

基金: 天津市自然科学基金青年项目(16JCQNJC02200)

分类号: O433.5;TN40

页码: 227-233

总页数: 7

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